当社グループは、光応用技術を基盤とした半導体関連装置及びその他の検査・測定装置の設計、製造、販売を行っている。
主力製品には、アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS」やマスクブランクス欠陥検査装置が含まれ、これらは半導体製造プロセスの重要な工程で使用される。
さらに、販売は北米、欧州、アジア市場で多様な連結子会社を通じて行い、サービス提供も各地域で特化した子会社が担っている。
当社は世界初のEUVマスクブランクス欠陥検査を開発するなど、先進的な技術革新に注力している。